[发明专利]一种激光切划装置有效
申请号: | 201710544776.3 | 申请日: | 2017-07-06 |
公开(公告)号: | CN107262937B | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 北京中科镭特电子有限公司 |
主分类号: | B23K26/364 | 分类号: | B23K26/364;B23K26/402;B23K26/70 |
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地址: | 100176 北京市北京经济技*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种激光切划装置,该装置包括一激光器,用于发出激光光束;一衍射光学镜片和一聚焦镜,所述激光光束通过所述衍射光学镜片和聚焦镜后,在工件上、下表面和中间分别形成聚焦点,所述聚焦点的形状为椭圆形,沿工件的厚度方向延伸,所述的工件的中间形成的聚焦点椭圆延伸长度大于所述工件上、下表面形成的聚焦点的椭圆形延伸长度。 | ||
搜索关键词: | 聚焦点 光学镜片 激光光束 聚焦镜 下表面 衍射 延伸 激光 激光器 椭圆 | ||
【主权项】:
1.一种激光切划装置,包括一激光器,用于发出激光光束;一衍射光学镜片和一聚焦镜,所述激光光束通过所述衍射光学镜片和聚焦镜后,在工件上、下表面和中间分别形成聚焦点以便同时形成切划,所述聚焦点的形状为椭圆形,沿工件的厚度方向延伸,所述的工件的中间形成的聚焦点椭圆形延伸长度大于所述工件上、下表面形成的聚焦点的椭圆形延伸长度,其中上、下两聚焦点用于工件上、下表面应力生长控制,中间聚焦点用于工件快速切划。
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