[发明专利]圆筒光罩

摘要

提供一种能够以高生产性来生产高质量基板的基板处理装置、器件制造方法以及光罩。具备：光罩支承部件，其在照明区域内以沿着按规定曲率弯曲成圆筒面状的第一面的方式支承光罩的图案；基板支承部件，其在投影区域内以沿着规定的第二面的方式支承所述基板；以及驱动机构，其以使光罩的图案向规定的扫描曝光方向移动的方式使光罩支承部件旋转，且以使基板向扫描曝光方向移动的方式使基板支承部件移动，光罩支承部件在将第一面的直径设为φ、将第一面在与扫描曝光方向正交的方向上的长度设为L的情况下，满足1.3≤L/φ≤3.8。

主权项

1.一种圆筒光罩，其沿着相对于规定的中心线具有固定半径的圆筒面形成有光罩图案，且以能够绕着所述中心线旋转的方式安装在曝光装置上，其特征在于，在所述圆筒面上，以沿所述圆筒面的圆周方向隔开间隔Sx的方式排列形成有n个显示面板用的长方形的光罩区域，其中，n≥2，该光罩区域包括长边尺寸为Ld、短边尺寸为Lc、长宽比Asp为Ld/Lc、且长边方向沿着所述中心线的显示画面区域、和与其周边相邻地设置的周边电路区域，当将所述光罩区域的沿着所述中心线的方向的长边方向的尺寸L设为所述显示画面区域的长边尺寸Ld的e₁倍、将所述光罩区域的沿着所述圆筒面的圆周方向的短边方向的尺寸设为所述显示画面区域的短边尺寸Lc的e₂倍时，其中，e₁≥1，e₂≥1，所述圆筒面的在所述中心线的方向上的长度设定为所述尺寸L以上，并且当将所述圆筒面的直径设为φ、将圆周率设为π时，设定为πφ＝n(e₂·Lc+Sx)，进一步地，以使所述尺寸L与所述直径φ的比率L/φ为1.3≤L/φ≤3.8的范围的方式设定所述直径φ、所述个数n、所述间隔Sx。