[发明专利]押元结构和基板承载装置有效
| 申请号： | 201710546537.1 | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107326337B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤;程亮;姜岸;刘军;郭红光;李兰;薛红伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种押元结构，用于夹持基板，所述基板包括相对设置的上表面和下表面以及连接在所述上表面和所述下表面之间的侧面，所述押元结构包括多个夹持部，多个所述夹持部用于环绕被夹持的基板设置并与该被夹持的基板的侧面相对，所述押元结构还包括第一驱动模块，该第一驱动模块用于驱动每个所述夹持部朝向或远离所述被夹持的基板移动。相应地，本发明还提供一种基板承载装置。本发明能够提高基板上成膜的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持部 夹持 基板承载装置 驱动模块 上表面 下表面 基板 基板上成膜 侧面 基板设置 基板移动 夹持基板 相对设置 均一性 环绕 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种押元结构，用于夹持基板，所述基板包括相对设置的上表面和下表面以及连接在所述上表面和所述下表面之间的侧面，所述押元结构包括多个夹持部，多个所述夹持部用于环绕被夹持的基板设置并与该被夹持的基板的侧面相对，其特征在于，所述押元结构还包括第一驱动模块，该第一驱动模块用于驱动每个所述夹持部朝向或远离所述被夹持的基板移动；所述押元结构还包括支架，该支架设置在所述夹持部下方，所述第一驱动模块包括第一控制器和与所述夹持部一一对应的第一磁性组件，所述第一磁性组件包括磁极相对设置的第一磁体和第二磁体，其中，所述第一磁体固定设置在所述支架上；所述第二磁体位于所述夹持部下方，且所述第二磁体与所述夹持部保持相对固定并能够与所述支架发生相对移动；所述第一磁体和所述第二磁体中至少一者的磁性大小可调，所述第一控制器用于调节所述第一磁体和所述第二磁体中磁性可调的一者或两者的磁性大小。
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