[发明专利]一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法在审
| 申请号： | 201710547326.X | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107389623A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 张栋;汪爱英;柯培玲;王丽;郭鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;G01N21/3563 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法。该方法利用金刚石相对于红外光具有高透过低吸收的特性，而石墨相恰恰相反的特性通过测量待比较的类金刚石薄膜的红外光透过的高低而得到其中金刚石相以及石墨相含量的高低。与现有技术相比，本发明方法能够快速、准确地比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量，并且适用的膜厚范围宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 准确 比较 金刚石 薄膜 结构 石墨 含量 方法 | ||
【主权项】：
一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法，其特征在于：待比较的类金刚石薄膜的厚度相同；测量待比较的类金刚石薄膜在红外波段的光透过率，待比较类金刚石薄膜中金刚石相含量的高低排列顺序与该透过率的高低排列顺序相同，待比较类金刚石薄膜中石墨相含量的高低排列顺序与该透过率的高低排列顺序相反。
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