[发明专利]一种硅基激光器及其制造方法、光模块有效
| 申请号： | 201710547808.5 | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107221836B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 隋少帅 | 申请（专利权）人： | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/04 | 分类号： | H01S5/04;H01S5/10 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 266555 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅基激光器及其制造方法、光模块，涉及硅光子集成技术领域，用于简化硅基激光器的制造工艺。该硅基激光器包括：硅衬底层、设置于硅衬底层上的硅波导、硅微型谐振腔、硅反射镜以及键合于硅波导上用于向硅波导提供光的光芯片；硅波导的一端连接硅微型谐振腔，另一端连接硅反射镜；硅微型谐振腔用于对硅导波输入的光芯片提供的光进行谐振；硅反射镜对不同波长的光具有不同的反射率，用于通过硅导波接收硅微型谐振腔输出的光，部分反射硅微型谐振腔输出的光，并通过硅导波将反射的传导至硅微型谐振腔进行谐振，部分透射硅微型谐振腔输出的光对外输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 及其 制造 方法 模块 | ||
【主权项】：
一种硅基激光器，其特征在于，包括：硅衬底层、设置于所述硅衬底层上的硅波导、硅微型谐振腔、硅反射镜以及键合于所述硅波导上用于向所述硅波导提供光的光芯片；所述硅波导的一端连接所述硅微型谐振腔，另一端连接所述硅反射镜；所述硅微型谐振腔用于对所述硅导波输入的所述光芯片提供的光进行谐振；所述硅反射镜对不同波长的光具有不同的反射率，用于通过所述硅导波接收所述硅微型谐振腔输出的光，部分反射所述硅微型谐振腔输出的光，并通过所述硅导波将反射的传导至所述硅微型谐振腔进行谐振，部分透射所述硅微型谐振腔输出的光对外输出。
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