[发明专利]曝光装置、曝光方法以及物品制造方法在审
| 申请号： | 201710554192.4 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN107621754A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 川岛春名;大阪昇 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及曝光装置、曝光方法以及物品制造方法。提供一种在曝光量的均匀化方面有利的曝光装置。一种曝光装置，在使基板(W)和原版(R)移动的同时针对每个被摄区域对基板(W)进行扫描曝光，所述曝光装置具有整形部(117)，对曝光被摄区域的曝光光进行整形；照明部(114)，调整曝光光的光量分布；以及控制部(170)，控制整形部(117)及照明部(114)，控制部(170)控制照明部(114)，以使在被摄区域内在非扫描方向上分离的第一区域以及第二区域各自的累计曝光量分布相等，控制整形部(117)，以使被摄区域中的扫描方向的累计曝光量均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 方法 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，在使基板和原版移动的同时针对每个被摄区域对所述基板进行扫描曝光，所述曝光装置的特征在于，具有：整形部，对曝光所述被摄区域的曝光光进行整形；照明部，调整所述曝光光的光量分布；以及控制部，控制所述整形部及所述照明部，所述控制部控制所述照明部，以使在所述被摄区域内在非扫描方向上分离的第一区域以及第二区域各自的累计的曝光量分布相等，所述控制部控制所述整形部，以使所述被摄区域中的扫描方向的累计曝光量均匀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710554192.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
