[发明专利]一种线性蒸发源及真空蒸镀装置在审
| 申请号： | 201710558037.X | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN109234682A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李浩永;金薰;丁熙荣;金甲锡 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种线性蒸发源及真空蒸镀装置，其中，线性蒸发源包括：坩埚，具有沿其长度方向延伸的开口部；安装板，可拆卸地安装于所述坩埚的开口部上，所述安装板上设有沿所述开口部的延伸方向排列、且贯穿安装板厚度方向的多个蒸发孔；多个喷嘴，与所述安装板的蒸发孔一一对应，且每个喷嘴可拆卸地安装于与其对应的蒸发孔上。上述线性蒸发源可以保证长期稳定的蒸镀均匀性；并且，上述线性蒸发源的维护过程不需要更换坩埚和蒸镀材料，因此，维护操作简单方便、耗时较短，对生产效率的影响较小，并且更新的成本费用也较低。 | ||
| 搜索关键词： | 线性蒸发源 安装板 开口部 蒸发孔 坩埚 真空蒸镀装置 喷嘴 可拆卸 蒸镀 长度方向延伸 长期稳定 成本费用 方向排列 生产效率 维护操作 蒸镀材料 均匀性 耗时 贯穿 延伸 更新 保证 维护 | ||
【主权项】：
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：坩埚，具有沿其长度方向延伸的开口部；安装板，可拆卸地安装于所述坩埚的开口部上，所述安装板上设有沿所述开口部的延伸方向排列、且贯穿安装板厚度方向的多个蒸发孔；多个喷嘴，与所述安装板的蒸发孔一一对应，且每个喷嘴可拆卸地安装于与其对应的蒸发孔上。
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