[发明专利]曝光装置

摘要

具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

主权项

1.一种曝光装置，一边将具有挠性的长条的基板沿长度方向搬送，一边在所述基板上曝光出图案，其中，具有：基板支承筒，其具有相对于沿所述基板的宽度方向延伸的中心轴为规定的曲率半径的圆筒形状的外周面，一边顺着所述外周面支承所述基板的长度方向的一部分，一边以所述中心轴为中心旋转而沿长度方向搬送所述基板；照明光学组件，其用于朝向反射型的光罩图案照射曝光用的照明光束；投影光学组件，其用于将由所述光罩图案反射的曝光用的投影光束朝向由所述基板支承筒的外周面以圆筒面状支承的所述基板的一部分投射；以及分束器，其配置在所述照明光学组件与所述光罩图案之间，并且配置在所述光罩图案与所述投影光学组件之间，入射来自所述照明光学组件的所述照明光束并将其朝向所述光罩图案反射，另一方面，入射由所述光罩图案反射的所述投影光束并将其朝向所述投影光学组件透射，朝向所述光罩图案的法线方向反射的所述投影光束的主光线相对于包含所述基板支承筒的所述中心轴的中心面具有角度θ，在通过该角度θ使所述投影光束的主光线与所述光罩图案相交的交点上的所述光罩图案的切面和与所述中心轴平行且与所述中心面正交的面在铅垂方向上的间隔随着从所述中心面离开而变大的方式倾斜时，将向所述分束器入射的所述照明光束的主光线的入射角β设定为45°×0.8≤β≤(45°+θ/2)×1.2的范围内。