[发明专利]卡盘工作台机构

摘要

提供卡盘工作台机构，不使用管而将卡盘工作台支承为能够旋转且能够进行吸引，并且缩短维护时间。卡盘工作台机构(50)采用如下的结构，其具有：固定基台(52)，其与外部吸引源(94)连接；以及旋转单元(51)，其以能够相对于固定基台旋转的方式进行配设，以能够相对于固定基台旋转的方式对安装在旋转单元的上部的卡盘工作台(40)进行支承。在旋转单元中设置有：旋转基台(54)，其以能够相对于固定基台旋转的方式进行配设；以及插入部(55)，其装拆自如地固定于旋转基台的旋转中心位置，插入部的卡合端部(72)与固定基台的卡合凹部(73)卡合从而使插入部内的吸引路径(95)与固定基台的连通路径(97)连结，并且利用密封环(84)对卡合端部与卡合凹部的相对面进行密封。

主权项

一种卡盘工作台机构，其将卡盘工作台安装在上部并且对该卡盘工作台以能够旋转的方式进行支承，所述卡盘工作台将被加工物吸引保持于上表面，该卡盘工作台机构的特征在于，该卡盘工作台机构具有：固定基台，在该固定基台的内部形成有与外部吸引源连通的连通路径；以及旋转单元，其以能够旋转的方式配设在该固定基台的上方，在该旋转单元的上部安装卡盘工作台，该旋转单元具有：旋转基台，其以能够旋转的方式配设在该固定基台的上方；以及插入部，其相对于该旋转基台装拆自如地固定于旋转中心并且构成为能够插入至该固定基台，在该插入部的内部形成有将吸引力传递给该卡盘工作台上表面的吸引路径，该插入部具有与该固定基台的卡合凹部卡合的卡合端部，当该卡合端部与该卡合凹部卡合时，该卡合端部的外周壁与该固定基台的该卡合凹部的内壁之间利用密封环进行密封，并且该连通路径与该吸引路径连结。