[发明专利]一种柔性基板原子氧防护层的生产线

摘要

本发明提供了一种柔性基板原子氧防护层的生产线，具备：用于固定安装柔性基板的固定安装预备系统；用于清洗并烘干的清洗烘干处理系统；用于进行活化预处理的活化处理系统；用于进行硅烷化处理的硅烷化处理系统；用于稳定化处理的稳定化处理系统；用于检测的自主检测系统；用于对废液进行回收处理的废液回收系统；用于在各系统间传动柔性基板的传动系统；和用于控制动作的控制系统；各系统间采用线性排列。根据本发明，能以自动化的方式流水线作业，生产出的柔性基板原子氧防护层产品具有产品大面积均匀性好、批次稳定性好、成品率高，防原子氧效果显著等优点，适合于柔性基板原子氧防护层的生产使用。

主权项

1.一种柔性基板原子氧防护层的生产线，具备：用于固定安装所述柔性基板，并将其送入预备工位的固定安装预备系统；用于清洗并烘干所述柔性基板表面的清洗烘干处理系统；用于对所述柔性基板的表面层进行活化预处理的活化处理系统；用于对经活化处理后的所述柔性基板的表面层进行硅烷化处理的硅烷化处理系统；用于对硅烷化处理后的所述柔性基板进行稳定化处理的稳定化处理系统；用于对处理后的所述柔性基板进行检测的自主检测系统；用于对生产过程中的各种废液进行回收处理的废液回收系统；用于在各系统间传动所述柔性基板的传动系统；和用于控制所述各系统及所述柔性基板动作的控制系统；所述各系统间采用线性排列。