[发明专利]一种制备自支撑三维多孔铜薄膜的方法及自支撑铜薄膜有效

专利信息
申请号: 201710562980.8 申请日: 2017-07-11
公开(公告)号: CN107460460B 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: 樊小勇;倪珂帆;韩家兴;王珊;苟蕾;李东林 申请(专利权)人: 长安大学
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40;C23C18/28;C23C18/30;C23C18/18
代理公司: 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 代理人: 李婷
地址: 710064 陕西省*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提出一种制备自支撑三维多孔铜薄膜的方法,包括以下步骤:将玻璃薄膜或塑料薄膜在敏化液中进行敏化,随后在活化液中进行活化,所述活化液包括氯化钯和盐酸的混合液;经活化后的玻璃薄膜或塑料薄膜放入混合溶液中浸泡得到前驱体,所述混合溶液包括柠檬酸三钠、硫酸镍、硫酸铜、硼酸、次亚磷酸钠、2,4,7,9‑四甲基‑5‑癸炔‑4,7‑二醇、十六烷基三甲基溴化铵和聚乙二醇的混合液;将前驱体加热到使前驱体中的玻璃薄膜脱离,或者将前驱体中的塑料薄膜用有机溶剂溶掉,获得自支撑三维多孔铜薄膜。本发明的制备方法,相对于模板法、去合金法和电沉积法等工艺,极大简化了制备步骤,只简单采用敏化、活化及浸泡即可实现。
搜索关键词: 前驱体 铜薄膜 自支撑 制备 塑料薄膜 玻璃薄膜 三维多孔 活化 混合液 活化液 敏化 浸泡 十六烷基三甲基溴化铵 硼酸 次亚磷酸钠 混合溶液中 柠檬酸三钠 电沉积法 混合溶液 聚乙二醇 有机溶剂 合金法 硫酸镍 硫酸铜 氯化钯 敏化液 模板法 四甲基 二醇 放入 加热 盐酸 脱离
【主权项】:
1.一种制备自支撑三维多孔铜薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:将玻璃薄膜或塑料薄膜在敏化液中进行敏化,所述敏化液包括氯化亚锡和盐酸的混合液;将敏化后的玻璃薄膜或塑料薄膜在活化液中进行活化,所述活化液包括氯化钯和盐酸的混合液;经活化后的玻璃薄膜或塑料薄膜放入混合溶液中浸泡得到前驱体,所述混合溶液包括柠檬酸三钠、硫酸镍、硫酸铜、硼酸、次亚磷酸钠、2,4,7,9‑四甲基‑5‑癸炔‑4,7‑二醇、十六烷基三甲基溴化铵和聚乙二醇的混合液;所述混合溶液pH值为8~11;所述混合溶液中柠檬酸三钠的质量浓度为5g/L~20g/L,硫酸镍的质量浓度为0.1g/L~1g/L,硫酸铜的质量浓度为5g/L~15g/L,硼酸的质量浓度为5g/L~35g/L,次亚磷酸钠的质量浓度为5g/L~30g/L,2,4,7,9‑四甲基‑5‑癸炔‑4,7‑二醇的质量浓度为0.1g/L~10g/L,十六烷基三甲基溴化铵的质量浓度为0.1g/L~10g/L,聚乙二醇的质量浓度为0.1g/L~10g/L;将前驱体中的玻璃薄膜或塑料薄膜进行脱模获得自支撑三维多孔铜薄膜;所述脱模包括将前驱体加热到使前驱体中的玻璃薄膜脱离,或者用有机溶剂溶去前驱体中的塑料薄膜。
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