[发明专利]一种热丝化学气相沉积设备

摘要

本发明属于化学气相沉积领域，并公开了一种热丝化学气相沉积设备。本设备包括反应腔体，支撑台架，腔体上盖采用翻盖式结构，腔体四周布置了两个翻盖式观察窗，腔体内部零部件包括金属热丝、热丝架、弹簧拉紧装置、热丝电极、钼板基座、进气口及抽气口，热丝架为双层结构，通过连接弹簧拉伸装置保持金属热丝的紧绷，反应腔体共焊接五条冷却水道，分别分布于盖板、腔体侧壁上部、腔体外壁下部、弹簧装置连接块以及下底板，冷却水道中通入冷却水用于带走沉积实验产生的热量；支撑台架是反应腔体的载体。通过本发明，增强热丝化学气相沉积过程的便捷性和安全性，提高设备的沉积效率。

主权项

1.一种化学气相沉积设备，该设备包括反应腔体和支撑台架，其特征在于，所述支撑台架是所述反应腔体(10)的载体，所述反应腔体包括腔体和盖板(11)，该盖板设置在所述腔体的上方，用于使所述腔体形成密封的空间；所述腔体的外侧表面设置有多个凸台状的观察窗(19)；所述腔体内部设置有衬底平台(50)和一组相对设置的热丝架(22)，所述相对设置的热丝架之间设置有金属热丝(54)，每个所述热丝架下方均设置有铜片(24)，该铜片与设置在下底板上的电源正极(21A)/负极(21B)导通，通电后用于加热所述金属热丝，其中，所述金属热丝还与设置在所述腔体外的弹簧拉伸装置(17)连接，该弹簧拉伸装置用于使所述金属热丝处于绷紧的状态，此外，所述腔体的侧壁上还设置有通孔(46)，测温仪穿过该通孔测量所述金属热丝的温度，与该测温仪连接的还有报警指示灯(35)和显示面板(34)，用于预警和显示所述热丝的温度；所述衬底平台(50)设置在所述反应腔体的下底板上，介于所述相对设置的热丝架(22)之间，且位于所述金属热丝(54)下方，该衬底平台用于放置待沉积的基体材料；所述盖板(11)、弹簧拉伸装置(17)、腔体的侧壁和下底板上均设置有冷却水道，用于冷却所述腔体。