[发明专利]接合装置

摘要

本发明提供一种能够抑制微粒的产生的接合装置。实施方式的一技术方案的接合装置具备上侧保持部、下侧保持部、推压部、以及吸附保持部。上侧保持部从作为非接合面的上表面侧保持第1基板。下侧保持部设置于上侧保持部的下方，使第2基板与第1基板相对而从下表面侧保持第2基板。推压部从上方按压第1基板的中心部而使第1基板的中心部与第2基板接触。吸附保持部设置成相对于上侧保持部升降自如，利用吸附来保持由上侧保持部保持之前的第1基板的上表面的一部分。

主权项

一种接合装置，其特征在于，该接合装置具备：上侧保持部，其从作为非接合面的上表面侧保持第1基板；下侧保持部，其设置于所述上侧保持部的下方，使第2基板与所述第1基板相对而从下表面侧保持该第2基板；推压部，其从上方按压所述第1基板的中心部而使所述第1基板的中心部与所述第2基板接触；以及吸附保持部，其设置成相对于所述上侧保持部升降自如，利用吸附来保持由所述上侧保持部保持之前的所述第1基板的上表面的一部分。