[发明专利]一种烧结NdFeB磁体表面高耐蚀复合涂层及其制备方法在审
申请号: | 201710566103.8 | 申请日: | 2017-07-12 |
公开(公告)号: | CN107299332A | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 徐光青;张鹏杰;吴玉程;曹玉杰;庞亚俊 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/30;C23C16/44 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人: | 沈尚林 |
地址: | 230000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种烧结NdFeB磁体表面高耐蚀复合涂层及其制备方法,包括以下步骤磁体预处理工艺、磁体涂覆前处理以及高耐蚀复合涂层的制备。本发明采用化学气相沉积法在经过处理后的烧结NdFeB磁体表面制备了高耐蚀复合涂层,该复合涂层是以对环芳烷为主要涂覆材料,在化学沉积对环芳烷的同时辅助沉积填充材料SiO2,使SiO2均匀的镶嵌到对环芳烷涂层中,改善了单一对环芳烷有机涂层较差的力学性能。与此同时采用循环氩离子对制备的复合涂层进行轰击处理,可进一步提高涂层与NdFeB基体之间的结合力和平整度。所制备的对环芳烷涂层中镶嵌SiO2复合涂层的一致性好、致密无孔隙现象,而且膜/基结合力极高。能够为烧结NdFeB磁体提供更长效的腐蚀防护作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 烧结 ndfeb 磁体 表面 高耐蚀 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种烧结NdFeB磁体表面高耐蚀复合涂层,其特征在于:所述的高耐蚀复合涂层为SiO2/对环芳烷复合涂层,所述的高耐蚀复合涂层采用对环芳烷、六甲基二硅氧烷制备而成。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的