[发明专利]接合系统

摘要

本发明提供一种能够谋求基板的处理时间的缩短的接合系统。实施方式的一形态的接合系统具备基板输送装置、表面改性装置、加载互锁室、表面亲水化装置以及接合装置。基板输送装置在常压气氛下输送第1基板以及第2基板。表面改性装置在减压气氛下对第1基板以及第2基板的要接合的表面进行改性。加载互锁室在室内中进行基板输送装置与表面改性装置之间的第1基板以及第2基板的交接，并且能够将室内的气氛在大气气氛与减压气氛之间切换。表面亲水化装置对改性后的第1基板以及第2基板的表面进行亲水化。接合装置利用分子间力对亲水化后的第1基板和第2基板进行接合。

主权项

一种接合系统，其特征在于，该接合系统具备：基板输送装置，其在常压气氛下输送第1基板以及第2基板；表面改性装置，其在减压气氛下对所述第1基板以及所述第2基板的要接合的表面进行改性；加载互锁室，其在室内进行所述基板输送装置与所述表面改性装置之间的所述第1基板以及所述第2基板的交接，并且，能够将所述室内的气氛在大气气氛与减压气氛之间进行切换；表面亲水化装置，其对改性后的所述第1基板以及所述第2基板的表面进行亲水化；以及接合装置，其利用分子间力对亲水化后的所述第1基板和所述第2基板进行接合。