[发明专利]一种微束X射线快速定位与校准装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种微束X射线快速定位与校准装置及其使用方法，属于微束X射线定位技术领域，所述的微束X射线快速定位与校准装置，包括X射线阵列探测器(1)、薄片基底(2)，X射线阵列探测器(1)设置于薄片基底(2)的底部，薄片基底(2)由基底和表面十字镀层(3)组成，表面十字镀层(3)设置于基底的上部，且表面十字镀层(3)材料为锌。本发明装置提供了焦斑形状信息的实时显示，将不可视的X射线转化为可观察的数字图像，便于存储和记录。本发明还能通过焦斑图像信息，计算得到X射线焦斑焦点中心位置和尺寸。

主权项

1.一种微束X射线快速定位与校准装置的使用方法，其特征在于：微束X射线快速定位与校准装置包括X射线阵列探测器(1)、薄片基底(2)，X射线阵列探测器(1)设置于薄片基底(2)的底部，薄片基底(2)由基底和表面十字镀层(3)组成，表面十字镀层(3)设置于基底的上部；/n并且微束X射线快速定位与校准装置的使用方法包括以下步骤：/n(1).第一组焦点重合；/n其中，第一组焦点重合包括以下步骤：/n步骤a.将微束X射线快速定位与校准装置安装于X荧光分析仪载物台(7)上，将X光透镜(4)安装于X荧光分析仪载物台(7)的一侧斜上方，使X光透镜(4)与X荧光分析仪载物台(7)之间的角度呈α，将X射线能量探测器(6)安装于X荧光分析仪载物台(7)的另一侧斜上方，使X射线能量探测器(6)与X荧光分析仪载物台(7)之间的角度呈β，将显微镜设置于微束X射线快速定位与校准装置正上方；/n步骤b.将带有十字标尺的显微镜目镜安装于显微镜的观察孔中，选择合适放大倍数的物镜(5)，并将其安装在显微镜上，调节X荧光分析仪载物台(7)的高度，直到从目镜中观察到表面十字镀层(3)清晰的像；/n步骤c.使用目镜观察两个十字图像，第一个是目镜十字标尺图像，第二个是表面十字镀层(3)的图像，水平方向调节X荧光分析仪载物台(7)，使两个十字图像的交叉中心点重合；/n(2).第二组焦点重合；/n第二组焦点重合包括以下步骤：/n步骤a.开启X射线发生器的电源，开启光管高压；/n步骤b.测量X射线能量探测器(6)输出能谱，并在锌元素K系特征X射线能量为8.64keV位置观察元素峰；/n步骤c.调节X射线能量探测器(6)的角度β，多次重复步骤b，使锌元素K系特征X射线的元素峰面积计数率达到最大值，此时，X射线能量探测器(6)的中心就和表面十字镀层(3)的中心重合，也即和显微镜目镜标尺的中心重合；/n(3).第三组焦点重合；/n第三组焦点重合包括以下步骤：/n步骤a.启动X射线阵列探测器(1)，X射线阵列探测器(1)将测量的X射线剂量转换成二维灰度图，即椭圆焦斑灰度图；/n步骤b.采用重心法计算椭圆焦斑灰度图的重心，该重心点就是X光透镜(4)输出X射线的中心，也就是X射线焦斑的中心点；/n步骤c.使X光透镜(4)输出X射线照射到X射线阵列探测器(1)表面，由于镀层对射线的吸收，造成镀层底部，也就是X射线阵列探测器(1)被镀层遮住的部分，没有X射线，在X射线阵列探测器(1)输出的X射线剂量灰度图中，找到镀层的阴影，该阴影的中心就是表面十字镀层(3)的交叉点；/n步骤d.在步骤b和步骤c中能够获得两个焦点，通过图像处理软件能够计算，并得到两个焦点在二维平面上的距离，该距离就是偏差，左右方向偏差记为△x和前后方向偏差记为△y；/n步骤e.根据步骤d获得的偏差，调节X荧光分析仪载物台7在二维平面的位置；/n步骤f.重复步骤a-e，直到步骤d计算的△x偏差、△y偏差均在22μm以内。/n