[发明专利]一种立体双层结构的热释电非制冷自选频红外探测器在审
| 申请号： | 201710567701.7 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN107356342A | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 袁飞;周虎川;杨帆;高豪 | 申请（专利权）人： | 成都市亿泰科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/14 | 分类号： | G01J5/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种立体双层结构的热释电非制冷红外探测器，属于红外探测领域。本发明包括硅基底、多个立体双层结构的热电偶、一种三层结构的自选频红外吸收器、接触高电极、接触低电极和二氧化硅薄膜，与CMOS工艺兼容。本发明采用一种立体双层结构的热电偶，比传统的平面热电偶有更高的空间利用率，更好的响应度、探测灵敏度和噪声等效功率，器件的性能大幅度提升；采用一种三层结构的自选频红外吸收器，不需要额外的滤光器，对特定波段几乎100%的吸收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立体 双层 结构 热释电非 制冷 自选 红外探测器 | ||
【主权项】：
一种立体双层结构的热释电非制冷自选频红外探测器，其特征在于，包括硅基底、不少于一个立体双层结构的热电偶、一种三层结构的自选频红外吸收器、接触高电极、接触低电极和二氧化硅薄膜。
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