[发明专利]一种OLED蒸镀用掩膜板及制备方法有效
| 申请号： | 201710571551.7 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN107164726B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王志东;吕振华;邱云 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种OLED蒸镀用掩膜板及制备方法，用以提高OLED显示产品的分辨率，以及扩大OLED蒸镀用掩膜板的选材范围，本发明提供的一种OLED蒸镀用掩膜板，包括：基板，所述基板上设有呈矩阵排列的多个开口，每个所述开口的图案形状与单个像素单元的有机发光层的图案形状一致，每个所述开口的内壁上设置有电镀层，以缩小所述开口的图案大小至单个像素单元的有机发光层的图案大小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 蒸镀用掩膜板 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于，包括：基板，所述基板上设有呈矩阵排列的多个开口，每个所述开口的图案形状与单个像素单元的有机发光层的图案形状一致，每个所述开口的内壁上设置有电镀层，以缩小所述开口的图案大小至单个像素单元的有机发光层的图案大小；所述电镀层包括设置在所述开口的内壁上的填充层；或，所述电镀层包括设置在所述开口的内壁上的填充层以及设置在所述开口的内壁和所述填充层之间的种子层。
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