[发明专利]一种单连接线电沉积钨涂层的方法有效
申请号: | 201710574513.7 | 申请日: | 2017-07-14 |
公开(公告)号: | CN107385484B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 江凡;邵绍峰;杨欣烨;吴红艳 | 申请(专利权)人: | 南京信息工程大学 |
主分类号: | C25D3/66 | 分类号: | C25D3/66;C25D5/18 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 戴朝荣 |
地址: | 210044 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种单连接线电沉积钨涂层的方法,本方法采用了单导线电沉积金属钨涂层技术方案,与常规电沉积技术相比,阳极钨直接放置于可导电的碳化硅石墨坩埚底部,可不使用金属连接线也可保证电路的完整性,降低了电沉积连接线的使用成本。阴极电极采用高温镍合金丝替代铂丝作为连接线,进一步节省了电极连接线成本,采用该方法电沉积出的钨涂层依旧结构致密,无裂纹。 | ||
搜索关键词: | 一种 连接线 沉积 涂层 方法 | ||
【主权项】:
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