[发明专利]用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉

摘要

一种用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，包括保温筒、保温盖，在保温筒内设有内筒，在保温筒的内壁上安装有加热器，在加热器的内壁与内筒的外壁之间布置有侧壁油道和多孔筛环，保温筒的底部上表面和内筒的底部下表面之间布置有底部油道，内筒底部上表面的中心与出油管的进油端相连，出油管的出油端与油泵的进口连接，在出油管旁边安装进油管，进油管的进油端与油泵的出口相连，进油管的出油端位于保温筒的底部上表面、连通所述的底部油道。本发明具有很高的温度均匀性，待退火的晶体附近的温度均匀性在±0.1℃以内，可以为提升KDP类晶体的退火温度、达到较为理想的退火效果提供有力的保障。

主权项

1.一种用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，包括保温筒(1)、保温盖(2)、位于该保温筒(1)外的防护罩(3)和支撑架(4)，在所述的保温筒(1)内设有内筒(5)，在该内筒(5)的内部设有晶体支撑板(6)和支撑板支座(7)，在所述的保温筒(1)的内壁上安装有加热器(8)，其特征在于，所述的加热器(8)的内壁与内筒(5)的外壁之间布置有侧壁油道(9)和多孔筛环(10)，所述的侧壁油道(9)由一系列上下分布的水平圆环组成，在每个水平圆环上均设有开口，且上下相邻的两个水平圆环的开口相互交错，所述的多孔筛环(10)水平设置在所述的侧壁油道(9)的上方，该多孔筛环(10)上均匀分布有通孔，所述的保温筒(1)的底部上表面和内筒(5)的底部下表面之间布置有底部油道(11)，该底部油道(11)由一系列不同半径的圆环相互嵌套而成，每个圆环上均设有开口，且相邻的两个圆环的开口相互交错，所述的内筒(5)底部上表面的中心与出油管(12)的进油端相连，该出油管(12)的出油端与油泵(13)的进口连接，该油泵(13)位于所述的保温筒(1)的外部，在所述的出油管(12)旁边安装进油管(14)，该进油管(14)的出油端位于保温筒(1)的底部上表面、连通所述的底部油道(11)，所述的进油管(14)的进油端与油泵(13)的出口相连。