[发明专利]联苯取代金刚烷衍生物单分子树脂、正性光刻胶组合物和负性光刻胶组合物有效

专利信息
申请号: 201710578532.7 申请日: 2017-07-17
公开(公告)号: CN107324978B 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 陈金平;李嫕;于天君;曾毅 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: C07C43/225 分类号: C07C43/225;C07C43/21;C07C39/17;C07C271/12;C07C69/712;C07D309/12;G03F7/039;G03F7/038
代理公司: 北京正理专利代理有限公司 11257 代理人: 赵晓丹
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种联苯取代金刚烷衍生物单分子树脂,具有如下分子结构:其中,式(I)中取代基Ra1~Ra20、式(II)中取代基Rb1~Rb15各自独立地表示氢原子、羟基、甲氧基或酸敏感性取代基,式(I)中的取代基Ra1~Ra20相同或不同,式(II)中的取代基Rb1~Rb15相同或不同,同一苯环上的多个取代基不能同时为氢原子。本发明中的联苯取代金刚烷衍生物单分子树脂在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性,适于制成薄膜,同时,具有很高的玻璃化转变温度,能够很好的满足光刻工艺的要求;本发明还公开了包括上述联苯取代金刚烷衍生物单分子树脂的光刻胶组合物,并制得不同厚度的用于光刻的光刻胶涂层。
搜索关键词: 联苯 取代 金刚 衍生物 分子 树脂 光刻 组合
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院理化技术研究所,未经中国科学院理化技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710578532.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top