[发明专利]全内反射镜与套筒结合应用于曝光机光源模块在审
申请号: | 201710581494.0 | 申请日: | 2017-07-17 |
公开(公告)号: | CN109270795A | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 张永裕;霍正邦;魏君祐 | 申请(专利权)人: | 志圣工业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 梁丽超;田喜庆 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及全内反射镜与套筒结合应用于曝光机光源模块。一种曝光模块包含:发光组件及调光组件。发光组件包含多个排列设置于灯板的发光单元,各发光单元能发出紫外光。调光组件固定于灯板,其包含:多个光学透镜及套筒结构。各光学透镜的内部能全反射紫外光。套筒结构包含有多个贯穿套筒结构的通道,各通道两端的开口形成于套筒结构彼此相对的两侧。调光组件固定设置于灯板时,多个光学透镜的至少一部分对应位于多个通道中;形成各个通道的一内壁,能吸收部分通过光学透镜的紫外光,未被吸收的紫外光则由通道的一端射出。如此,由各通道射出的紫外光的出光角度,将可有效地被缩小,而更集中于中心轴线的位置。 | ||
搜索关键词: | 紫外光 光学透镜 套筒结构 调光组件 灯板 发光单元 发光组件 光源模块 结合应用 内反射镜 曝光机 射出 套筒 彼此相对 固定设置 排列设置 曝光模块 通道两端 中心轴线 全反射 有效地 内壁 吸收 开口 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种曝光模块,其特征在于,所述曝光模块包含:一发光组件,其包含:多个发光单元,其排列设置于一灯板,各个所述发光单元能发出一紫外光;以及一调光组件,其可拆卸地固定设置于所述灯板,所述调光组件包含:多个光学透镜,各个所述光学透镜的内部能全反射所述紫外光;及一套筒结构,其包含有多个通道,各个所述通道分别贯穿所述套筒结构设置,且各个所述通道两端的开口,形成于所述套筒结构彼此相对的两侧;其中,所述调光组件固定设置于所述灯板时,多个所述光学透镜的至少一部分对应位于多个所述通道中;形成各个所述通道的一内壁,能吸收部分通过所述光学透镜的所述紫外光,未被吸收的所述紫外光则由所述通道的一端射出。
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