[发明专利]一种陶瓷电容压力传感器在审
申请号: | 201710581563.8 | 申请日: | 2017-07-17 |
公开(公告)号: | CN107389229A | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 陈锦荣;宋晓君;操小六;项昱福;周志强;张从江;査俊 | 申请(专利权)人: | 合肥皖科智能技术有限公司 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L9/12 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人: | 王加贵 |
地址: | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种陶瓷电容压力传感器,包括固定电极和可变电极,固定电极和可变电极之间形成可变的电容容室,敏感膜片感受压力变化而产生相应的形变位移,可变电极随着敏感膜片的位移而产生变化,进而电容容室的电容量发生改变,通过电容量的改变测得压力大小。本发明的陶瓷电容压力传感器在固定电极上设置玻璃绝缘层,当测试压力超过设计测量值时,敏感膜片上的可变电极和玻璃绝缘层紧贴在一起,防止固定电极和可变电极短路,起到限位保护作用,防止传感器因过载造成损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 电容 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种陶瓷电容压力传感器,其特征在于:包括基座、接线柱、固定电极、敏感膜片和可变电极,所述接线柱设置于所述基座上,所述基座的一端具有球面凹槽,所述固定电极设置于所述球面凹槽上,所述固定电极与所述接线柱相连接,所述固定电极上设置有玻璃绝缘层,所述敏感膜片与所述基座相连,所述可变电极设置于所述敏感膜片上并靠近所述基座一侧,所述固定电极与所述可变电极之间形成电容容室。
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