[发明专利]具有位置调节功能的嵌套式支承结构及其用途有效
申请号: | 201710585905.3 | 申请日: | 2017-07-18 |
公开(公告)号: | CN107329376B | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 齐威;齐月静;王宇;卢增雄;杨光华;李兵;刘斌;郭馨 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 郎志涛 |
地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及具有位置调节功能的嵌套式支承结构及其用途,其包括内支承架和支承并调节所述内支承架的外支承架,内支承架设置有沿横向X方向和纵向Y方向凸出的多个突出部;外支承架由沿横向X方向延伸的两个相对布置的横向延伸部和沿纵向Y方向延伸的两个相对布置的纵向延伸部构成,使得外支承架成型为沿着内支承架的四周围绕内支承架,并且外支承架设置有分别与内支承架的突出部相对应的开口,使得内支承架的突出部能够嵌入外支承架的开口中,从而使外支承架以嵌套的形式支承内支承架。其中,外支承架在开口处分别设置有位置调节件,位置调节件能够沿横向X方向、纵向Y方向和竖向Z方向作用于内支承架的相应突出部,从而调节内支承架的六自由度。 | ||
搜索关键词: | 具有 位置 调节 功能 嵌套 支承 结构 及其 用途 | ||
【主权项】:
1.一种具有位置调节功能的嵌套式支承结构,其特征在于,所述嵌套式支承结构包括:用于对待支承件提供支承作用的内支承架,所述内支承架设置有沿横向X方向和纵向Y方向凸出的多个突出部;用于支承并调节所述内支承架的外支承架,所述外支承架由沿所述横向X方向延伸的两个相对布置的横向延伸部和沿所述纵向Y方向延伸的两个相对布置的纵向延伸部构成,使得所述外支承架成型为沿着所述内支承架的四周围绕所述内支承架,并且所述外支承架设置有分别与所述内支承架的所述突出部相对应的开口,使得所述内支承架的所述突出部能够嵌入所述外支承架的所述开口中,从而使所述外支承架以嵌套的形式支承所述内支承架;其中,所述外支承架在所述开口处分别设置有位置调节件,所述位置调节件能够沿横向X方向、纵向Y方向和竖向Z方向作用于所述内支承架的相应突出部,从而调节所述内支承架的六自由度。
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