[发明专利]传感器的制造方法及传感器有效
| 申请号： | 201710586335.X | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107607152B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 赖建文 | 申请（专利权）人： | 上海申矽凌微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种传感器的制造方法，包括气敏和湿敏器件形成步骤；所述气敏和湿敏器件形成步骤包括器件区域形成步骤、器件构成步骤；所述器件区域形成步骤包括湿敏器件区域形成步骤、气敏器件区域形成步骤；所述器件构成步骤包括湿敏器件形成步骤、气敏器件形成步骤。本发明还提供了一种传感器，所述传感器是利用上述的传感器的制造方法制成的传感器。本发明将湿敏电容和气敏电阻用完全兼容的工艺制作在同一硅片上，不需要特殊工艺，使得结构简单可靠。气敏材料的注入和形成采用自对准工艺，使得气敏图形稳定，尺寸一致。只需低于400℃的低温来处理的气敏材料，与常规半导体铝布线工艺兼容，不需要用到如金等贵金属，降低成本等有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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