[发明专利]抑制方向串扰的电感型磁传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710586338.3 申请日: 2017-07-18
公开(公告)号: CN107290694B 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 文玉梅;李平;卞雷祥 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G01R33/06 分类号: G01R33/06
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 郭国中
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种抑制方向串扰的电感型磁传感器及其制备方法,该传感器包括绝缘不导磁衬底、传感线圈、偏置线圈、绝缘层、导磁材料层,传感线圈位于绝缘不导磁衬底上,偏置线圈位于两层绝缘层之间,且和传感线圈部分重叠,导磁材料层位于最上的绝缘层上。本发明能够抑制传感器的轴间串扰,消除轴间交叉敏感,提高磁传感器的传感性能。
搜索关键词: 抑制 方向 电感 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
一种抑制方向串扰的电感型磁传感器,其特征在于,包括绝缘不导磁衬底、传感线圈、偏置线圈、绝缘层、导磁材料层,传感线圈位于绝缘不导磁衬底上,偏置线圈位于两层绝缘层之间,导磁材料层位于最上的绝缘层上。
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