[发明专利]抑制方向串扰的电感型磁传感器及其制备方法有效
申请号: | 201710586338.3 | 申请日: | 2017-07-18 |
公开(公告)号: | CN107290694B | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 文玉梅;李平;卞雷祥 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G01R33/06 | 分类号: | G01R33/06 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 郭国中 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种抑制方向串扰的电感型磁传感器及其制备方法,该传感器包括绝缘不导磁衬底、传感线圈、偏置线圈、绝缘层、导磁材料层,传感线圈位于绝缘不导磁衬底上,偏置线圈位于两层绝缘层之间,且和传感线圈部分重叠,导磁材料层位于最上的绝缘层上。本发明能够抑制传感器的轴间串扰,消除轴间交叉敏感,提高磁传感器的传感性能。 | ||
搜索关键词: | 抑制 方向 电感 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种抑制方向串扰的电感型磁传感器,其特征在于,包括绝缘不导磁衬底、传感线圈、偏置线圈、绝缘层、导磁材料层,传感线圈位于绝缘不导磁衬底上,偏置线圈位于两层绝缘层之间,导磁材料层位于最上的绝缘层上。
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