[发明专利]光波检测器用衬底及其制备方法

摘要

本发明属于探测器技术领域，具体涉及一种光波检测器用衬底及其制备方法。在耐热基底上依次涂覆有机层前驱体、复合层前驱体、陶瓷层前驱体，每次涂覆后210℃下干燥，得到衬底；再根据常规制备得到检测器，具备高速、高灵敏度、高信噪比的优点。

主权项

一种光波检测器用衬底的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化石墨烯、环氧树脂加入PMA，回流搅拌40分钟后加入N‑丁烯基邻苯二甲酰亚胺与二苯基硅二醇，继续搅拌2分钟，然后加入二乙基亚磷酸酯、过氧化二异丙苯，搅拌50分钟，得到有机层前驱体；(2)向乙醇和三氟乙酸中加入六氯铱酸铵，搅拌后，在氮气保护下，再加入仲丁基锂、辛酸亚锡；回流搅拌80分钟后加入氨水；反应90分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯，静置后离心，得到离心沉淀物；(3)将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；在分散体系中加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌2分钟加入三茂钐，搅拌3小时，得到陶瓷层前驱体；(4)将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系，再加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，60℃搅拌2小时，然后加入4‑乙烯基苯甲酸甲酯、八甲基环四硅氧烷、4，6‑二甲基吡啶‑2‑酮，回流搅拌40分钟，然后浓缩得到固含量60％的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后喷雾干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为45000～50000rpm；浓缩物的流量为140～150mL/min；(5)将纳米粉加入有机层前驱体中，搅拌15分钟后加入碳纳米管，搅拌90分钟得到复合层前驱体；(6)在清洁的硅片上依次涂覆有机层前驱体、复合层前驱体、陶瓷层前驱体，得到衬底；每次涂覆后210℃下干燥。