[发明专利]一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置有效
| 申请号： | 201710592753.X | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN107331698B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 宋振;王国英 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/786;H01L21/34;H01L27/12;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置，涉及显示技术领域，可有效提高薄膜晶体管在光照下的可靠性，进而提高显示装置的显示性能。其中，薄膜晶体管包括设于衬底基板的第一有源层，第一有源层由掺杂有金属元素的金属氧化物半导体材料形成，所掺杂的金属元素的化学活泼性高于金属氧化物半导体中的金属元素的化学活泼性。上述薄膜晶体管用于实现画面显示。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制作方法 阵列 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，包括设于衬底基板的第一有源层，所述第一有源层由掺杂有金属元素的金属氧化物半导体材料形成，所掺杂的金属元素的化学活泼性高于所述金属氧化物半导体中的金属元素的化学活泼性。
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