[发明专利]阳极化工艺

摘要

本发明描述了用于形成阳极化层的方法和结构，所述阳极化层保护金属表面并在美学上增强金属表面。在一些实施例中，该方法涉及在底层金属上形成阳极化层，该阳极化层允许看到底层金属表面。在一些实施例中，该方法涉及在成角表面上形成第一阳极化层和相邻的第二阳极化层，两个阳极化层之间的界面是规则且均匀的。描述了用于在金属表面上的阳极化图案和纹理化图案上提供清楚限定的拐角的光掩模技术和工具。还描述了用于在制造电子设备过程中提供耐受阳极化的部件的技术和工具。

主权项

一种适用于在铝基板上形成光致抗蚀剂图案的光掩模，所述光致抗蚀剂图案与当对所述铝基板进行阳极化时所产生的表面特征部相关联，所述光掩模包括：至少一个外拐角，所述至少一个外拐角包括第一预变形特征部，所述第一预变形特征部被配置为减少由后续喷砂操作在所述光致抗蚀剂图案的对应外拐角处所导致的拐角侵蚀量，其中所述第一预变形特征部通过在所述光致抗蚀剂的所述外拐角处阻挡大部分喷砂介质来保护底层光致抗蚀剂；以及至少一个内拐角，所述至少一个内拐角包括第二预变形特征部，所述第二预变形特征部被配置为减少由后续喷砂操作在所述光致抗蚀剂图案的对应内拐角处所导致的拐角侵蚀量，其中所述第二预变形特征部通过在所述光致抗蚀剂的所述内拐角处阻挡大部分喷砂介质来保护底层光致抗蚀剂。