[发明专利]一种涂布检测修复装置及其方法

摘要

一种涂布检测修复装置以及其对应的方法，检测单元与修复单元都集成于涂布机上，作为一个涂布‑检测‑修复的整体机台使用。当涂布机完成涂布工作后，检测单元采用微区透光率的手段对安放于涂布机上的承载基板和柔性基板进行检测，辨别并定位柔性基板中的气泡或粒子异物的存在；修复单元采用微波对检测定位的气泡进行局部加热，使气泡膨胀并移动至柔性基板表面溢出，并对需要后续修复或规避的缺陷进行标记定位，利用本装置的制造方法可以提高柔性显示屏制备的良品率，降低制造风险。

主权项

一种涂布检测修复装置，其特征在于，检测单元集成在涂布机上，采用微区透光率的方法，对放置于涂布机上的待检测产品进行检测，所述待检测产品包括承载基板和贴合至所述承载基板表面的柔性基板，所述检测单元包括光源、光学模块、积分球和光谱仪，所述光学模块将所述光源发出的光垂直入射到所述柔性基板表面，所述光透过所述柔性基板和承载基板后被所述积分球收集，再由所述积分球传输给所述光谱仪对光量进行分析，以判定承载基板和柔性基板之间是否存在缺陷。