[发明专利]一种防指纹膜的镀膜方法在审
| 申请号： | 201710595359.1 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN109280887A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王伟;张扬;常杰;范雪锋 | 申请（专利权）人： | 深圳市一诺真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防指纹膜的镀膜方法，该方法包括清理基板表面；在所述基板的表面制备氧化铝膜层，形成过渡层；在所述过渡层的表面制备氮化硅或碳化硅膜层，形成硬化层；在所述硬化层的表面制备氧化硅膜层，形成结合层；在所述结合层的表面制备防指纹层。通过该方法制备的防指纹膜硬度更高，抗擦伤性更好，显著提升了防指纹膜的性能，具有优异的膜层精度、硬度、抗擦伤性和附着性、天然的无残余应力特性、优越的加工稳定性、均匀性和重复性、9H”以上硬度的行业需求。 | ||
| 搜索关键词： | 表面制备 防指纹膜 抗擦伤性 过渡层 结合层 硬化层 镀膜 加工稳定性 碳化硅膜层 氧化硅膜层 氧化铝膜层 残余应力 基板表面 行业需求 氮化硅 附着性 均匀性 天然的 指纹层 基板 膜层 制备 | ||
【主权项】：
1.一种防指纹膜的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，清理基板表面；S2，在所述基板的表面制备氧化铝膜层，形成过渡层；S3，在所述过渡层的表面制备氮化硅或碳化硅膜层，形成硬化层；S4，在所述硬化层的表面制备氧化硅膜层，形成结合层；S5，在所述结合层的表面制备防指纹层。
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