[发明专利]基于表面电磁波共振的高性能CMOS红外微测辐射热计有效
| 申请号： | 201710596908.7 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN109282903B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 纪小丽;张朝阳;杨琪轩;沈凡翔;黄延;段佳华;朱晨昕;司伟;闫锋 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210046 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于表面电磁波共振的高性能CMOS红外微测辐射热计。该微测辐射热计包括L形微桥结构，微桥结构单元包括桥墩、桥臂和红外吸收体，红外吸收体为多层结构，自上而下依次为氮化硅层、金属光栅层、二氧化硅层、蛇形铝热敏电阻层和二氧化硅层。本发明的微测辐射热计结构与传统的微测辐射热计结构相比，在热敏电阻层上面增加了金属光栅，形成MIM结构，该结构利用表面电磁波激发共振，显著提高了探测器的红外吸收率，增加了探测器响应，实现高效率探测。同时本发明的微测辐射热计基于标准CMOS集成电路工艺，具有工艺上容易实现、价格低廉等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 电磁波 共振 性能 cmos 红外 辐射热 | ||
【主权项】：
1.基于表面电磁波共振的高性能CMOS红外微测辐射热计，包括L形微桥结构，其特征在于，微桥结构单元包括桥墩、桥臂和红外吸收体，红外吸收体为多层结构，自上而下依次为氮化硅层、金属光栅层、二氧化硅层、蛇形铝热敏电阻层和二氧化硅层。
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