[发明专利]等离子体分光分析方法及等离子体分光分析装置在审
申请号: | 201710599681.1 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN107643279A | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 高须刚 | 申请(专利权)人: | 爱科来株式会社 |
主分类号: | G01N21/66 | 分类号: | G01N21/66 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人: | 高培培,车文 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种等离子体分光分析方法及等离子体分光分析装置,分析灵敏度高且抑制了例如试料分析时的分析误差的产生。本发明的等离子体分光分析方法包括浓缩工序,包括在试料的存在下对一对电极进行电压施加的电压施加工序,通过所述电压施加来将所述试料中的分析对象物浓缩于至少一方的电极的附近;及检测工序,通过向所述一对电极施加电压而产生等离子体,对因所述等离子体而产生的所述分析对象物的发光进行检测,所述浓缩工序中的至少一部分的期间的电压施加时的一对电极间的电流恒定。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 分光 分析 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种等离子体分光分析方法,包括:浓缩工序,包括在试料的存在下对一对电极进行电压施加的电压施加工序,通过所述电压施加来将所述试料中的分析对象物浓缩于至少一方的电极的附近;及检测工序,通过向所述一对电极施加电压而产生等离子体,对因所述等离子体而产生的所述分析对象物的发光进行检测,所述浓缩工序中的至少一部分的期间的电压施加时的一对电极间的电流恒定。
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