[发明专利]一种可旋转可移动靶架传动装置在审
| 申请号： | 201710603757.3 | 申请日： | 2017-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN109280880A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王静辉;张小飞 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及到传动技术领域，尤其涉及一种可旋转可移动靶架传动装置。该可旋转可移动靶架传动装置，包括靶架移动电机、支架、导轨、靶架旋转电机和真空箱。本发明设计了一种可旋转可移动靶架传动装置中靶架移动电机可以通过支架带动靶架左右移动，靶架旋转电机能够带动靶架旋转。该装置可以实现在超高真空状态下，靶架旋转和移动的同时动作。不仅实现了靶架和离子源之间距离的自动调整，而且此装置配合光学监控系统实现了靶架位置和移动速度可编程控制，保证了镀膜膜厚的均匀性。总之，该可旋转可移动靶架传动装置结构设计合理，靶架定位方便准确，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 靶架 可旋转 传动装置 旋转电机 移动电机 支架 超高真空状态 传动技术领域 传动装置结构 光学监控系统 可编程控制 装置配合 左右移动 均匀性 离子源 真空箱 移动 导轨 镀膜 膜厚 保证 | ||
【主权项】：
1.一种可旋转可移动靶架传动装置，包括靶架移动电机（1）、支架（6）、导轨（7）、靶架旋转电机（8）和真空箱（11），其特征在于：所述支架（6）上设有靶架（3），所述靶架（3）上设有蜗轮蜗杆机构（4），所述支架（6）的底部设有转轮（9），所述导轨（7）固定在真空箱（11）的底部，所述支架（6）设置在真空箱（11）的内部，所述靶架移动电机（1）和靶架旋转电机（8）设置在真空箱（11）的外部，所述靶架移动电机（1）和支架（6）之间设有丝杠传动机构（2），所述靶架移动电机（1）能够通过丝杠传动机构（2）带动支架（6）底部的转轮（9）沿着导轨（7）转动，所述蜗轮蜗杆机构（4）和靶架旋转电机（8）之间设有万向联轴节（5），所述靶架旋转电机（8）能够通过蜗轮蜗杆机构（4）和万向联轴节（5）带动靶架（3）旋转。
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