[发明专利]一种强结合碳化硅过滤膜制备方法有效
| 申请号： | 201710604363.X | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107382323B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 余盛杰;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 苏州宏久航空防热材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;C04B35/622;B01D67/00;B01D71/02;C25D13/02;C23C16/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 种强结合碳化硅过滤膜制备方法，其特征在于，将粒径为50nm~5um的碳化硅粉末、无水乙醇、金属盐化物混合配制成电泳悬浮液，将预制支撑体放入电泳悬浮液中，电泳沉积电压50~300V，沉积时间为1~10min。电泳沉积好的预制支撑体置于鼓风烘箱中烘干后，放入真空沉积炉中，升温至900~1200℃，以三氯甲基硅烷为碳化硅气源，氢气作为反应载气，氩气作为稀释气体，化学气相沉积碳化硅涂层，沉积时间为10~30h，气相沉积结束后，随炉冷却至室温，取出后，得到一种强结合碳化硅过滤膜。本发明具有的优点：1、电泳沉积碳化硅颗粒层均匀性高；2、过滤膜完全纯质碳化硅，无热应力产生；3、化学气相沉积碳化硅涂层粘结相结合强度高，均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结合 碳化硅 滤膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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