[发明专利]电子枪专用多工位预处理装置有效
| 申请号： | 201710604467.0 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107396527B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 邵珠振;张岩松;刘华周;李传南;王剑钢;李欢 | 申请（专利权）人： | 山东蓝孚高能物理技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H7/22 | 分类号： | H05H7/22;H05H15/00;G01R31/00;G01R31/12;G01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子枪专用多工位预处理装置，涉及电子枪技术，特别涉及电子枪预处理技术；本发明所要解决的技术问题是，能够对多支电子枪同时进行预处理，提高处理的工作效率和便利性；其特征在于：该装置包括电子枪主体存放管道、电子枪变径接口、超高真空阀、离子泵等；所述电子枪主体存放管道壁上设置有多个电子枪变径接口；由于采用上述结构，可以同时进行多支电子枪的耐压测试、分解、激活与老化，实现每支电子枪的真空独立，各工位不必同时使用，提高了电子枪预处理的效率和便利性，并能大幅度缩短电子枪进入正常工作状态的周期。 | ||
| 搜索关键词： | 电子枪 专用 多工位 预处理 装置 | ||
【主权项】：
电子枪专用多工位预处理装置，其特征在于：该装置包括电子枪主体存放管道（3）、电子枪变径接口（4）、变径法兰接头（2,7）、超高真空阀（1,5,6）、离子泵（8）、支撑平台（9）；所述电子枪主体存放管道（3）的右端设置有超高真空插板阀（6）和变径法兰接头（7），与离子泵（8）对接；所述电子枪主体存放管道（3）的左端设置有变径法兰接头（2），与超高真空阀（1）对接；所述电子枪主体存放管道（3）壁上设置有多个电子枪变径接口（4）；所述支撑平台（9）用于安放、固定上述装置。
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