[发明专利]阴极结构及包含此阴极结构的离子化金属等离子装置在审
申请号: | 201710604688.8 | 申请日: | 2017-07-24 |
公开(公告)号: | CN109300761A | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 江浩宁;庄凱富;洪祥堡;郭俨颉;高铭祥;庄铭德 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本揭露有关于一种阴极结构及包含此阴极结构的离子化金属等离子装置。阴极结构是适用于等离子装置。此阴极结构包含曲面实心部、固定部及容置部,容置部设置于曲面实心部及固定部之间。曲面实心部包含底表面及顶曲面。顶曲面的周缘完全地连接底表面的周缘。固定部是配置以固定阴极结构于等离子装置上。容置部是配置以容置等离子装置的阴极灯丝,并连接曲面实心部的底表面及固定部。 | ||
搜索关键词: | 阴极结构 等离子装置 固定部 实心部 容置部 离子化金属 固定阴极 连接曲面 阴极灯丝 地连接 容置 配置 | ||
【主权项】:
1.一种阴极结构,适用于一等离子装置,其特征在于,该阴极结构包含:一曲面实心部,包含:一底表面;以及一顶曲面,其中该顶曲面的一周缘完全地连接该底表面的一周缘,且该顶曲面的表面积与该底表面的表面积的比值为1.1至10;一固定部,配置以固定该阴极结构于该等离子装置上;以及一容置部,配置以容置该等离子装置的一阴极灯丝,其中该容置部是设置于该曲面实心部及该固定部之间,且该容置部连接该底表面及该固定部。
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