[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201710604794.6 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107267921A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 任晓光 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体及坩埚盖。所述坩埚盖具有喷嘴，所述喷嘴凸设于所述坩埚盖上，且设于背离所述坩埚本体的一侧，用于喷出所述坩埚本体中的有机材料。所述喷嘴具有顶壁和内壁，所述顶壁朝向于背离所述坩埚本体的一侧，所述内壁连接于所述顶壁与所述坩埚盖之间，以形成所述有机材料的输运通道。所述蒸镀坩埚还包括设于所述喷嘴外围的加热器，所述加热器用于产生热量，所述热量传导至所述内壁，所述内壁具有至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面，以增加所述内壁的热辐射量，以使所述内壁升温或保持温度，防止所述有机材料粘附于所述内壁。本发明还提供了一种蒸镀装置。本发明用于防止坩埚盖上的喷嘴堵口。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚本体及设于所述坩埚本体上的坩埚盖，所述坩埚盖具有喷嘴，所述喷嘴凸设于所述坩埚盖上，且设于背离所述坩埚本体的一侧，用于喷出所述坩埚本体中的有机材料，所述喷嘴具有顶壁和内壁，所述顶壁朝向于背离所述坩埚本体的一侧，所述内壁连接于所述顶壁与所述坩埚盖之间，以形成所述有机材料的输运通道，所述蒸镀坩埚还包括设于所述喷嘴外围的加热器，所述加热器用于产生热量，所述热量传导至所述内壁，所述内壁具有至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面，以增加所述内壁的热辐射量，以使所述内壁升温或保持温度，防止所述有机材料粘附于所述内壁。
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