[发明专利]一种直板型实用化射频MEMS开关

摘要

一种直板型实用化射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成，微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，在上电极开孔，形成释放孔阵列，上电极的固定端通过固定锚点固定在微波传输线上，在下电极上设有单触点，本发明采用直板型上电极结构，具有简单实用、方便阻抗匹配的优点，在工艺加工中易于实现，适用于批量化生产，提高了开关的成品率，本发明还采用单触点结构，可以有效地改善双触点虚接引起的可靠性问题，增强了开关接触特性，减小了弱接触，避免开关烧蚀和粘连，使开关的寿命得到较大的提高。

主权项

一种直板型实用化射频MEMS开关，其特征在于，所述开关包括：衬底，所述衬底为表面具有微波传输线的的基座承载体；上电极，所述上电极为长方形结构，所述上电极固定端通过固定锚点固定在微波传输线上，所述上电极中部及另一端延伸于所述衬底水平上方；下电极，所述下电极上表面设置有单触点，所述单触点置于所述上电极的另一端下方，所述单触点形状包括但不限于长方体、半球体或圆锥体；驱动电极，所述驱动电极设置在衬底上表面中心处，所述驱动电极置于所述上电极下方，所述上电极对应所述驱动电极的位置处开设有释放孔阵列；所述上电极通过固定锚点固定在微波传输线上，下电极通过信号线固定在所述衬底上。