[发明专利]一种银浆粘片陶瓷封装器件的取芯片方法有效

专利信息
申请号: 201710606944.7 申请日: 2017-07-24
公开(公告)号: CN107393811B 公开(公告)日: 2019-07-23
发明(设计)人: 李兴鸿;赵俊萍;黄鑫;孙健;方测宝;王勇 申请(专利权)人: 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 庞静
地址: 100076 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种银浆粘片陶瓷封装器件的取芯片方法,具体为:(1)、将银浆粘片陶瓷封装器件开封后装入玻璃烧杯中;(2)、往玻璃烧杯中加入可溶解银浆的有机溶剂,使银浆粘片陶瓷封装器件完全没入有机溶剂中;(3)、用玻璃盖盖住烧杯,保持有机溶剂处于低于其沸点的一定温度并持续一段时间,直至银浆粘片陶瓷封装器件上的银浆充分溶解;(4)、对其进行清洗,去除附着在其上的银浆;(5)、将陶瓷封装器件干燥处理。该方法有效降低以至消除了芯片表面沾污、芯片腐蚀及机械损伤的诱因,完整保留了芯片的物理结构和电性能,完整保留了封装;溶剂可重复使用,环境污染小,操作简单,降低了成本。
搜索关键词: 一种 银浆粘片 陶瓷封装 器件 芯片 方法
【主权项】:
1.一种银浆粘片陶瓷封装器件的取芯片方法,其特征在于包括下列步骤:(1)、将银浆粘片陶瓷封装器件开封后装入玻璃烧杯中;(2)、往玻璃烧杯中加入可溶解银浆的有机溶剂,使银浆粘片陶瓷封装器件完全没入有机溶剂中;(3)、用玻璃盖盖住烧杯,保持有机溶剂处于低于其沸点的一定温度并持续一段时间,直至银浆粘片陶瓷封装器件上的银浆充分溶解;(4)、采用工具夹住陶瓷封装将陶瓷封装器件从玻璃烧杯中提取出来,并对其进行清洗,去除附着在其上的银浆;清洗过程采用下列顺序进行:(4.1)、采用丙酮超声清洗,所述丙酮超声功率50W~80W;(4.2)、采用无水乙醇超声清洗,所述无水乙醇超声功率50W~80W;(4.3)、采用纯水水枪倾斜喷洗芯片表面,直至附着在其上的银浆全部去除,所述纯水水枪压力为1.1atm~1.5atm;(5)、对陶瓷封装器件进行干燥处理。
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