[发明专利]一种银浆粘片陶瓷封装器件的取芯片方法有效
申请号: | 201710606944.7 | 申请日: | 2017-07-24 |
公开(公告)号: | CN107393811B | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 李兴鸿;赵俊萍;黄鑫;孙健;方测宝;王勇 | 申请(专利权)人: | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/67 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 庞静 |
地址: | 100076 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种银浆粘片陶瓷封装器件的取芯片方法,具体为:(1)、将银浆粘片陶瓷封装器件开封后装入玻璃烧杯中;(2)、往玻璃烧杯中加入可溶解银浆的有机溶剂,使银浆粘片陶瓷封装器件完全没入有机溶剂中;(3)、用玻璃盖盖住烧杯,保持有机溶剂处于低于其沸点的一定温度并持续一段时间,直至银浆粘片陶瓷封装器件上的银浆充分溶解;(4)、对其进行清洗,去除附着在其上的银浆;(5)、将陶瓷封装器件干燥处理。该方法有效降低以至消除了芯片表面沾污、芯片腐蚀及机械损伤的诱因,完整保留了芯片的物理结构和电性能,完整保留了封装;溶剂可重复使用,环境污染小,操作简单,降低了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 银浆粘片 陶瓷封装 器件 芯片 方法 | ||
【主权项】:
1.一种银浆粘片陶瓷封装器件的取芯片方法,其特征在于包括下列步骤:(1)、将银浆粘片陶瓷封装器件开封后装入玻璃烧杯中;(2)、往玻璃烧杯中加入可溶解银浆的有机溶剂,使银浆粘片陶瓷封装器件完全没入有机溶剂中;(3)、用玻璃盖盖住烧杯,保持有机溶剂处于低于其沸点的一定温度并持续一段时间,直至银浆粘片陶瓷封装器件上的银浆充分溶解;(4)、采用工具夹住陶瓷封装将陶瓷封装器件从玻璃烧杯中提取出来,并对其进行清洗,去除附着在其上的银浆;清洗过程采用下列顺序进行:(4.1)、采用丙酮超声清洗,所述丙酮超声功率50W~80W;(4.2)、采用无水乙醇超声清洗,所述无水乙醇超声功率50W~80W;(4.3)、采用纯水水枪倾斜喷洗芯片表面,直至附着在其上的银浆全部去除,所述纯水水枪压力为1.1atm~1.5atm;(5)、对陶瓷封装器件进行干燥处理。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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