[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积装置及其生产方法

摘要

本发明涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括壳体，壳体的上表面设有微波输入口，微波输入口的下方设置有基板，基板的底面设置有环形天线，基板与壳体之间设置有由微波介质材料制成的管状微波窗，壳体的底端设置有沉积台，沉积台位于环形天线的下方，并且沉积台能够在第一升降装置的驱动下上下移动，沉积台的外侧面设置有管状结构的等离子体稳定环，沉积台、等离子体稳定环、壳体、管状微波窗及基板包围形成封闭的谐振腔。本发明的微波等离子体化学气相沉积装置结构简单、加工成本低、生产效率高且产成品品质高。此外，本发明还设计该微波等离子体化学气相沉积装置的生产方法。

主权项

一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括壳体，其特征在于：所述壳体的上表面设有微波输入口，所述微波输入口的下方设置有基板，所述基板的底面设置有环形天线，所述基板与壳体之间设置有由微波介质材料制成的管状微波窗，所述管状微波窗的内腔与所述微波输入口连通，管状微波窗的顶端与壳体连接，管状微波窗的底端设置于所述基板的顶面，所述壳体的底端设置有沉积台，所述沉积台位于环形天线的下方，并且沉积台能够在第一升降装置的驱动下上下移动，所述沉积台的外侧面设置有管状结构的等离子体稳定环，所述沉积台、等离子体稳定环、壳体、管状微波窗及基板包围形成封闭的谐振腔。