[发明专利]高精度光学波长参考标准具有效
| 申请号： | 201710610565.5 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109298503B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;徐静 | 申请（专利权）人： | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/18 | 分类号： | G02B7/18;G02B26/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供的高精度光学波长参考标准具包括：法布里‑珀罗谐振腔；光学补偿片，设置于法布里‑珀罗谐振腔内，包括第一光学平行平板和支撑第一光学平行平板的双材料悬臂梁，双材料悬臂梁包括悬臂梁主体及薄膜层，悬臂梁主体与薄膜层具有不同的热膨胀系数，在温度变化时能够改变光学补偿片的法线与光学波长参考标准具的光轴之间的夹角，以补偿由于腔长发生变化而带来的误差。本发明提供的光学波长参考标准具，可以实现高精度补偿光学波长参考标准具的透射峰的中心波长值、透射峰波长温度漂移，同时实现了光学波长参考标准具的批量制造，大大降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 光学 波长 参考 标准 | ||
【主权项】：
1.一种高精度光学波长参考标准具，其特征在于，包括：法布里‑珀罗谐振腔，包括相对设置且高度平行的第一光学反射镜和第二光学反射镜；光学补偿片，设置于所述法布里‑珀罗谐振腔内，所述光学补偿片包括光学平行平板和支撑所述光学平行平板的双材料悬臂梁，所述双材料悬臂梁包括悬臂梁主体及覆盖于所述悬臂梁主体上的薄膜层，所述悬臂梁主体与所述薄膜层具有不同的热膨胀系数，在温度变化时能够改变所述光学补偿片的法线与所述光学波长参考标准具的光轴之间的夹角，以补偿由于腔长发生变化而带来的透射波长偏差。
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