[发明专利]一种VCM弹片的制作方法

摘要

本发明提供了一种VCM弹片的制作方法，包括在基板上同时曝光并通过激光蚀刻机进行双面蚀刻出预设形状得到所述VCM弹片，所述基板包括厚度为0.03mm‑0.08mm的铜镍锡合金BF158。本案采用双面蚀刻的方式使得弹丝的横截面高低平整，可以使弹片在装配和使用过程中不会由于受力不均造成马达的驱动不好，从而提升了聚焦对位时间和拍摄质量；确保摄像头不会出现轻微的抖动现象，提升了产品良率和生产效率。

主权项

一种VCM弹片的制作方法，其特征在于，包括：在基板上同时曝光并通过激光蚀刻机采用双面蚀刻工艺制作出预设形状得到所述VCM弹片，所述基板包括厚度为0.03mm‑0.08mm的铜镍锡合金BF158；其中，所述双面蚀刻工艺具体包括：(1)在真空状态或惰性气氛的保护下，在所述基板的上表面和下表面进行曝光处理，具体的，在基板的上表面和下表面分别涂覆感光材料，在所述上表面和下表面的感光材料上贴附与预设形状完全对应相同的菲林，所述菲林上的图案为阵列分布的圆形，然后进行曝光处理，曝光后将菲林去掉，并清洗除去所述基板上表面和下表面的未固化感光材料；(2)先将掩膜后的基板上表面或下表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，然后将基板翻转，将基板的下表面或上表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，完成对基板的双面蚀刻；所述双面蚀刻中的蚀刻液包含以下组分：HCL、CU2+、乳化剂SG、余量为水；(3)对双面蚀刻后的基板进行脱膜处理，除去掩膜层，并进行清洗、抗氧化处理、烘干。