[发明专利]一种真空设备门盖关闭自调节装置在审
申请号: | 201710611397.1 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN109295432A | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 周文彬 | 申请(专利权)人: | 昆山迅立光电设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空设备上盖关闭自调节装置;其特征在于,它包括:铰链、铰链座、铰链上轴心杆、铰链下轴心杆、固定杆、左微调固定片、右微调固定片及微调片固定轴心杆;所述铰链利用铰链下轴心杆固定在铰链座上,铰链上轴心固定动力来源;例如油压杆,铰链与固定杆以螺丝固定,左微调片及右微调片以插销方式固定在铰链上,微调片固定轴心固定微调片及固定杆,形成可前后摆动的状态;固定杆下方可锁固需上下移动部件;例如上盖。通过这样的结构可以使上盖在闭合时能自动调节前后位置,可以紧密及准确盖在腔室上,不会产生翘曲或闭合不紧的现象。 | ||
搜索关键词: | 铰链 固定杆 微调片 轴心杆 上盖 微调固定片 自调节装置 固定轴心 真空设备 铰链座 上下移动部件 插销方式 动力来源 固定微调 螺丝固定 前后摆动 前后位置 闭合 闭合时 油压杆 门盖 腔室 翘曲 锁固 | ||
【主权项】:
1.一种真空设备上盖关闭自调节装置,其特征在于,它包括:铰链、铰链座、铰链上轴心杆、铰链下轴心杆、固定杆、左微调固定片、右微调固定片及微调片固定轴心杆;所述铰链利用铰链下轴心杆固定在铰链座上,铰链上轴心固定动力来源;例如油压杆,铰链与固定杆以螺丝固定,左微调片及右微调片以插销方式固定在铰链上,微调片固定轴心固定微调片及固定杆,形成可前后摆动的状态;固定杆下方可锁固需上下移动部件。
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