[发明专利]指纹传感器及其形成方法有效
| 申请号： | 201710611417.5 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109299635B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 陈福刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种指纹传感器及其形成方法，其中，所述形成方法包括：提供基底，所述基底包括多个像素区；在所述基底像素区上形成传感介质结构，所述传感介质结构中具有传感连接结构；在所述传感介质结构和传感连接结构表面形成电极板；对所述电极板进行鼓包处理，在电极板表面形成若干凸起；所述鼓包处理之后，在所述电极板上形成绝缘介质结构。指纹传感器在工作过程中，手指与所述绝缘介质结构接触，手指、绝缘介质结构和电极板构成电容器。所述凸起能够增加电极板表面的面积，从而增加所述电容器的电容，进而能够增加指纹传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 指纹 传感器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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