[发明专利]电子束控制装置和方法、电子束成像模块、电子束检测设备有效
| 申请号： | 201710612022.7 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109300760B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 滝川忠宏 | 申请（专利权）人： | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供用于对入射的电子束的尺寸进行调节的电子束控制装置和方法、电子束成像模块、电子束检测设备。所提供的用于对入射的电子束的尺寸进行调节的电子束控制装置包括光阑件，所述光阑件具备多个间隔开布置的光阑孔，所述多个光阑孔中的每个光阑孔在所述光阑件上的位置被确定成与入射的电子束的多个不同的半张角和与电子束的不同尺寸对应，并且每个光阑孔的大小被确定成足以通过具备对应尺寸的所述电子束，由此入射的电子束的尺寸能够通过所述电子束移位至所述多个光阑孔中的选定光阑孔来调节。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 控制 装置 方法 成像 模块 检测 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于对入射的电子束的尺寸进行调节的电子束控制装置，包括光阑件，所述光阑件具备多个间隔开布置的光阑孔，其中，所述多个光阑孔中的每个光阑孔在所述光阑件上的位置被确定成与入射的电子束的多个不同的半张角和与电子束的不同尺寸对应，并且每个光阑孔的大小被确定成足以通过具备对应尺寸的所述电子束，由此入射的电子束的尺寸能够通过所述电子束移位至所述多个光阑孔中的选定光阑孔来调节。
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