[发明专利]一种硅片沟槽内丝网印刷工艺有效
| 申请号： | 201710615668.0 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN109304950B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王晓捧;王彦君;孙晨光;徐长坡;陈澄;武卫;梁效峰;王宏宇;杨玉聪;史丽萍;徐艳超;甄辉;齐风;董文一 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B41M1/12 | 分类号： | B41M1/12;B41M7/00;B41M1/26 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300380 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种硅片沟槽内丝网印刷工艺，步骤依次包括：一次检验、一次印刷前硅片对准、一次印刷、一次烘干、二次检验、二次印刷前硅片对准、二次印刷和二次烘干。本发明的有益效果是：采用丝网印刷的方式实现对硅片沟槽内表面的层处理，相较于原有的电泳钝化层的方式，缩短钝化时间，有效提高生产效率；适合大批量规模化生产；两次印刷能够使槽内玻璃更完整，使沟槽拐角处有玻璃保护，提高产品性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 沟槽 丝网 印刷 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种硅片沟槽内丝网印刷工艺，步骤依次包括：一次检验、一次印刷前硅片对准、一次印刷和一次烘干；所述一次检验是指对硅片进行外观检查，将不良品剔除；所述一次印刷前硅片对准具体是将待印刷硅片与对准基准对准，以保证所述一次印刷时所述待印刷硅片与印刷网版对准；所述一次印刷指利用印刷装置将印刷浆料印刷至所述待印刷硅片的沟槽内；所述一次烘干是指利用烘干装置对所述一次印刷后的硅片进行烘干，保证印刷浆料的干燥成型。
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