[发明专利]静电放电保护装置、电路及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201710616644.7 申请日: 2017-07-26
公开(公告)号: CN108807364B 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 洪慈忆;陈信良 申请(专利权)人: 旺宏电子股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开了一种用于静电放电(ESD)保护装置、电路及其制作方法。其中,静电放电保护装置包括:第一掺杂剂类型的基础阱,位于基底上;第一掺杂剂类型的第一阱,位于基础阱中;第二掺杂剂类型的第二阱,位于基础阱中;第一掺杂剂类型的第一高掺杂区及第二掺杂剂类型的第二高掺杂区,位于第一阱中;第二掺杂剂类型的第三高掺杂区,位于第二阱中;以及第一掺杂剂类型的第四高掺杂区,位于第三高掺杂区中。第一高掺杂区与第二高掺杂区耦合至第一电压端子,且第三高掺杂区及第四高掺杂区耦合至第二电压端子。
搜索关键词: 静电 放电 保护装置 电路 及其 制作方法
【主权项】:
1.一种静电放电(ESD)保护装置,包括:第一掺杂剂类型的基础阱,设置于基底上;所述第一掺杂剂类型的第一阱,设置于所述基础阱中;第二掺杂剂类型的第二阱,设置于所述基础阱中;所述第一掺杂剂类型的第一高掺杂区及所述第二掺杂剂类型的第二高掺杂区,设置于所述第一阱中;所述第二掺杂剂类型的第三高掺杂区,设置于所述第二阱中;以及所述第一掺杂剂类型的第四高掺杂区,设置于所述第三高掺杂区中,其中,所述第一高掺杂区与所述第二高掺杂区耦合至第一电压端子,且所述第三高掺杂区及所述第四高掺杂区耦合至不同的第二电压端子。
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