[发明专利]脉冲宽度控制器在审
| 申请号： | 201710618710.4 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN107450189A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 西奥多·P·莫菲特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文揭示一种用于热处理系统的脉冲宽度控制器。脉冲电磁辐射被引导穿过转动式波片至偏振分束器，所述偏振分束器根据所述波片的相角而反射及透射。通过所述偏振分束器透射的辐射被引导至光路，所述光路经渡越时间后使所述辐射返回所述偏振分束器。第二转动式波片定位于所述光路中。所述偏振分束器根据所述第二转动式波片的相角反射及透射返回的辐射。第二脉冲宽度控制器可嵌套于所述光路中，且所述光路可嵌套任何数量的脉冲宽度控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲宽度 控制器 | ||
【主权项】：
一种光学装置，包括：第一转动式波片，所述第一转动式波片具有光轴；偏振分束器，所述偏振分束器具有透射轴，所述透射轴大致平行于所述第一转动式波片的所述光轴；第一反射器，所述第一反射器沿着所述透射轴定位以使第一偏转电磁辐射沿着第一偏转轴传播；及第二反射器，所述第二反射器被定位以接收来自所述第一反射器的电磁辐射，且所述第二反射器使返回电磁辐射传播至所述偏振分束器。
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