[发明专利]物料输送通路、物料供给装置及晶体生长系统在审
申请号: | 201710625376.5 | 申请日: | 2017-07-27 |
公开(公告)号: | CN109306510A | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 张永辉;李定武;周锐;李侨;徐战军;付泽华;张伟建;刘喜保 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 钟欢 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开的物料输送通路,用于供物料在气密状态下从炉体外部转移至炉体内部;物料输送通路包括投料通路和喂料通路,投料通路设置在炉体的内部并与坩埚相对,喂料通路可相对于投料通路延伸或撤回,喂料通路在延伸位置时穿过炉体并与投料通路相连通。本发明还公开了一种物料供给装置,除包含所述物料输送通路外,还至少包括储料机构,储料机构用于容纳物料,储料机构中的物料可在气密状态下通过物料输送通路供给至炉体内部的坩埚中。本发明还公开了一种具有上述物料供给装置的晶体生长系统。本发明满足了大加料量的要求,加料过程与单晶硅棒冷却过程可以并行,缩短了加料时间,提高了单晶硅棒的生产效率,同时提高了外部加料的稳定性和安全性。 | ||
搜索关键词: | 物料输送 投料 物料供给装置 储料机构 喂料通路 加料 晶体生长系统 单晶硅棒 炉体内部 气密状态 炉体 坩埚 冷却过程 炉体外部 生产效率 通路设置 延伸位置 加料量 并行 穿过 容纳 外部 延伸 | ||
【主权项】:
1.物料输送通路,其特征在于,用于供物料在气密状态下从炉体(7)外部转移至炉体(7)内部,所述炉体(7)内具有用于盛接所述物料的坩埚(10);所述物料输送通路包括投料通路(1)和喂料通路(3),所述投料通路(1)设置在炉体(7)的内部并与所述坩埚(10)相对,所述喂料通路(3)可相对于所述投料通路(1)延伸或撤回,所述喂料通路(3)在延伸位置时穿过所述炉体(7)并与所述投料通路(1)相连通。
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